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电子芯片洁净室净化车间的现状及风险电子芯片的生产过程对于环境的洁净度有着非常严格的要求,国内电子芯片洁净车间的行业现在面临3个方面的问题,即:高技术适应性与灵活性、复杂工艺与高技术风险、复杂设计施工与高建造费用。 一:高技术适应性与灵活性 在2000年-2010年间,国内电子芯片技术由5英寸(0.5μm)、6英寸(0.5μm)提升到了8英寸(0.18μm-0.25μm)。而目前,一些知名厂家的产品更是达到了12英寸(110nm-90nm-65nm),可以说电子芯片行业已经进入了“纳米时代”。 国内电子芯片技术的高速发展与相关洁净车间有着密切关联,这类车间必须适应电子芯片技术的发展速度,以便满足工艺不断发展进步的要求。由于电子芯片洁净车间的建造成本高,使用时间长,因此在设计与建造时要做好周全准备,使其具备高技术适应性与灵活性。 二:复杂工艺与高技术风险 对于电子芯片洁净车间而言,复杂工艺与高技术风险是并存的。在产品生产过程中,如果尘埃颗粒控制不当,会对成品率造成不良影响,甚至还会造成整批产品的报废。 除此之外,在电子芯片洁净车间的气流组织中和芯片生产过程中,如果车间内尘埃颗粒及静电控制不当,会对产品合格率造成很坏的影响,有时候甚至会造成整批产品的报废。轻则影响成品率,重则造成整个洁净车间的报废,其损失是难以估量的。 三:复杂设计施工与高建造费用 电子芯片洁净车间有着严格的洁净度要求,可想而知,其设计施工也是相当复杂的。此外,洁净度越高,建造费用也越高。例如100级(FS 209)单向流洁净室,仅室内装修与空调洁净系统的建造费用为10000元/㎡。再加上消防、三废、供配电和自控系统,建造费用更是高达25000元-30000元/㎡。 当完成电子芯片洁净车间的建造后,还要经过3方面的验收,即:空态验收、静态验收、动态验收,只有完成验收才能投入日常使用。因此,面临巨大的技术风险,以及后续运行、维护和调试、检测的压力。
无锡一净净化设备有限公司建议大家,电子芯片洁净车间是固态的,一旦建成基本无法更改,只能改造升级,同时电子芯片净化车间建造成本高,预期使用寿命长,因此在设计与建造时要做好长期预案,做周全准备,使电子芯片净化车间建成后具备高技术适应性与灵活性。 上一篇: 电子洁净厂房关键难点是什么?
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