无尘室的分类

1. 乱流式：空气由空调机箱经风管和洁净室内的空气过滤器进入洁净室，并由洁净室内的回风柱或高架地板回风。气流是呈不规则的乱流或涡流状态。此型式适合于洁净室等级为：1000-100000级

2.层流式：空气气流运动成一均匀的直线形，空气由覆盖率的过滤器进入室内，并由高架地板或两侧回风柱回风，此型式适合于级别比较高的洁净室

3.复合式：复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。洁净隧道以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式

如果您在无尘室方面有疑问或者业务需要，您可以咨询我们，我们将给您专业细致的服务。

关键词：净化工程，无尘室，洁净室