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超净制造环境

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超净制造环境是制造特别清洁的环境以生产各类高技术产品或进行高技术研究的生产环境。环境空气中尘埃的多少是其洁净程度的标志,以“级”表示。每一立方英尺空间内含有10万个0.5微米以上的尘埃称为10万级洁净度。通常工业区的大气尘埃为千万级,空气极端洁净的田园为百万级。半导体材料、元件和集成电路的生产,精密机械,例如人造卫星、彩色显像管、微型轴承、光盘存储器等,以及生物工程,例如基因重组、传染病的生物防治、疑难病症的手术与治疗等均需在不同程度的洁净室内进行。

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现以集成电路为例加以说明。16K位芯片的制造要求1000级环境,64K位芯片为100级,而256K位芯片则要求10级。由此看,集成化程度越高,对洁净度的要求越严格。控制洁净室内尘埃的方法,一般采用玻璃纤维制作的高性能空气滤清器、高能性空调器和纯水制造装置,还需要使用机器磨损产生尘埃的特殊处理技术。此外工作人员的服装材料及洗涤方法也需特殊选择。

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