洁净室工程的技术参数有哪些？

一般情况下洁净室工程技术参数主要有：

换气次数：十万级10－15次/小时；万级15－25次/小时；千级50－52次/小时;

百级操作台断面风速：0.25-0.35m/s。

压差：主车间对相邻房间≥5Pa。

温度:冬季＞16℃±2℃；夏季＜26℃±2℃；

相对湿度：45－65％（RH）；噪声≤65dB（A）；新风补充量：总送风量的20％－30％；

照度：≥300Lux。

下面介绍一下洁净室工程的基本参数和特殊参数：

一、基本参数

1、洁净度

洁净度是洁净室的重要基本的技术指标。其单位是：单位体积的空气中粒径不小于某一尺度的微粒个数。尤其是微电子行业对于洁净室的要求较高。

2、微生物浓度

微生物浓度是洁净室的另一项重要技术指标。其单位是：单位体积的空气中微生物个数。生物工程行业对于微生物浓度的要求较高，其次是医疗、制药、食品、饮料、化妆品等行业。空气中的微生物是空气微粒的一部分，确切的说是危害较大的一部分。通常测定的是空气中细菌的浓度。

3、温度

温度是基本的工作条件，几乎所有的洁净室对于温度都有明确的要求。温度会影响植体的尺度，从而影响加工的度，从而影响加工的度，所以精密加工对于温度有相当严格的要求。温度会影响仪器的参数，从而产生测定误差，所以精密测量仪器对于温度的要求也较高。

4、湿度

湿度也是基本的工作条件，几乎所有的洁净室对于湿度都有明确的要求。湿度过大会使许多物质发生化学反应，从而影响产品质量，甚至使设备失效，产品报废。湿度过低又会使许多物质脱水变形，失去原有的功能。

5、风速与风量

足够的风速与风量是洁净度的保证，过大的风速与风量不仅浪费能量，而且有时会影响正常的工作。

6、气压与压差

正常的气压是正常工作的基本条件。必要的压差是控制漏气方向的手段。微电子行业的洁净室为了保证洁净度，不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄露。病毒实验室或传染病房不允许室内空气向室外泄露。

7、噪声

过大的噪声不仅会影响正常的工作，而且会影响人员的身体健康，降低噪声是洁净度的一项基本要求。

8、照度

适当的照度是正常工作的必要条件。

二、特殊参数

1、振动

振动会影响仪器设备的稳定性，从而影响仪器的准确度，还会影响设备的加工度，所以有些洁净室需要控制振动。

2、静电

静电有许多危害，特别容易损坏微电子元件，所以微电子行业采取相应的防护措施，预防静电的产生或者使产生的静电能够及时泄漏，以减少静电对电子行业所造成的损失。

3、有害气体浓度

有害气体的种类繁多，有的会损害人体健康，有的会影响产品质量和产品合格率，所以洁净度需要控制有害气体浓度。

4、辐射强度

X射线、Y射线、电磁波等辐射对人体有较大的的损害，有时对生产设备或产品也有损害。